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X射線熒光測厚儀

一納米定成敗

儀器品牌:日立 HITACHI

儀器型號:FT160

即使是1納米也會產(chǎn)生巨大差異,所以,您需要一臺高端XRF 鍍層測厚儀滿足當(dāng)今電子行業(yè)及未來納米分析的需求,為微型結(jié)構(gòu)選擇精準(zhǔn)分析。

FT160技術(shù)特點(diǎn)

高強(qiáng)度X射線-儀器的核心所在是全新的毛細(xì)管聚焦光學(xué)系統(tǒng),其具備的30um光束適合于測量微小的半島體圖案和超小型元件。
?●  最優(yōu)分辨率硅漂移探測器-這一高性能裝置使計(jì)數(shù)率加倍,確保實(shí)施可重復(fù)測量以提高生產(chǎn)力。?
●  大型樣品室門-便于操作員裝載和卸載樣品,此外,F(xiàn)T160還具有寬敞的樣品室,以容納各種形狀的樣品,封閉式樣品室也最大?限度提高安全性。
?●  高清相機(jī)-樣品觀察相機(jī)的分辨率得到提高-且具有16倍數(shù)字變焦功能-使半導(dǎo)體表面清晰準(zhǔn)確,從而最大限度地減少失真和重復(fù)測試。
?●  全新控制器軟件-只需在屏幕上確定最佳測量點(diǎn),然后運(yùn)行分析。
●  可確定從鋁(11)到鈾(92)等多種金屬的鍍層厚度。

FT160技術(shù)參數(shù)

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